电子无尘室是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，电子无尘室净化工程对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。实验室净化无菌试验室-洁净实验室-生物安全实验室的建设方案包括：建筑布局和装修、空气调节、给排水、气体供应、电气设计、集中控制、安防、施工工艺、检测、培训等多方面内容。相对于其他工业洁净室，电子无尘室有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

电子行业车间净化

根据电子无尘室的空气循环特点，洁净室可分为高效送风循环空调、湿密封循环风机和FFU循环系统三种类型。

第1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的无尘室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第2种形式的设计可以满足集成电路制造无尘室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种FFU循环系统不仅节省了运行空间，清洁度高，安全性好，运行成本低，而且具有较高的运行灵活性。可随时对系统进行升级调整，不影响生产。所有这些都能很好地满足半导体制造业的需要。因此，在半导体制造业中，FFU循环系统是一个接一个的系统。逐步成为主要的净化设计方案。

FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

集成电路制造对电子无尘室的环境控制有着严格的要求。不同的工艺要求不同的清洁度，如1级微环境中的光刻和1000级环境中的化学机械研磨。

此外，集成电路制造洁净厂房具有噪声、微振动、照度等相关规定和要求，特别是振动控制，因此在洁净室的建筑结构设计中需要有一定的要求。

良好的电子洁净室净化工程设计不仅节约能源，降低运营成本，减少人力投入，而且为生产提供安全可靠的保障。在三种清洁系统中，FFU循环系统具有低运行成本和高清洁度安全性。因此，FFU循环系统经常用于集成电路洁净室。清洁度要求越高，温度和湿度控制的准确度越高，洁净室的投资和运行成本就越高。因此，在环境清洁度大或温湿度要求较低的情况下，一些关键的工艺设备被安排在较高的水平。清洁度或温湿度控制区是集成电路制造清洁车间的设计趋势。